• 01.07.2022 07:52

ТЕХНОСФЕРА РОССИЯ

Производство Наука Технологии ВПК Импортозамещение

безмасочная фотолитография

  • Главная
  • В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм

В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм

Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному исследовательскому университету «МИЭТ» (Зеленоград). Стартует разработка технологии для создания в будущем отечественной установки фотолитографии на…